变频螺杆真空泵干式真空泵应用过程出现颗粒物怎么办

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干式真空泵在应用过程中，尤其是一些半导体应用中，含颗粒介质的气体成分难以避免。虽然像螺杆真空泵这样的干式真空泵对颗粒介质有一定的耐受性，但仍需要采取措施减少颗粒物的产生与混入。
一般情况下，干式真空泵中出现颗粒物有3种情况，简单的就是抽气过程中混入的颗粒物，其次是泵内压力增高引起气固相变形成的产物，另外就是泵内产生反应气体的生成物。
针对这几种情况，要减少颗粒物出现在真空泵内，除进行必要的泵前过滤分离外，还可以通过以下措施防止反应颗粒物在泵内出现：
首先是适当的提高泵温，避免气固相变。物质的升华、凝固时压力与温度的函数，函数关系随物质的不同而不同。调整干式真空泵的温度可以避免气固相变过程的发生。如Al刻蚀过程中会产生AlCl3，当温度高于80℃时，AlCl3就会挥发，而不会产生沉积。
其次是降低参加化学反应气体的浓度。单位时间内，气体反应生成物的数量与反应气体的浓度成指数关系，所以在生产工艺中充入惰性气体，减少反应气体浓度是降低泵内颗粒物生成的有效办法。通常这类干式真空泵压缩气体之前就需要通入惰性气体。同时在一些工艺过程中，引入惰性气体降低反应气体浓度也有助于避免出现爆炸事故。
第三就是增加抽气通道中的气流速度。对于不可避免的已经出现与真空泵内的颗粒物，为防止其沉积，尽快将其排出，需要使气体的流动速度大于颗粒物沉积的临界速度，保证颗粒物实现气动输送。这时就需要通过在泵内及早充入适量的气体，使气流速率大于颗粒沉积临界速度。但是对于充入的气体量的多少，需要考虑是否会影响真空泵的极限压力，这点需要通过实践来确定佳的充入量。
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